HCDS 화학명: Hexachlorodisilane (또는 Disilicon hexachloride)CAS NO : 13465-77-5분자식: (SiCl₃)₂ 또는 Si₂Cl₆ 분자량: 약 268.89 g·mol⁻¹녹는점 : -1℃끓는점 : 144℃밀도 : 1.56g/ml증기압 : 5torr @ 25℃ 합성목록 2025.10.30
