TEMAHf 화학명: Tetrakis(ethylmethylamido)hafnium(IV) (TEMAHf) CAS: 352535-01-4 분자식 / 분자량: C₁₂H₃₂HfN₄, 410.90 g·mol⁻¹ 용도: ALD/CVD용 Hf 전구체(HfO₂ 박막 형성)녹는점: 끓는점: ~78–79 °C (저압)밀도: 1.324 g·cm⁻³ (25 °C) 증기압: 0.067 mbar @ 75 °C, 0.36 mbar @ 95 °C 합성목록/반도체 프리커서 2025.10.28
