HCDS 화학명: Hexachlorodisilane (또는 Disilicon hexachloride)CAS NO : 13465-77-5분자식: (SiCl₃)₂ 또는 Si₂Cl₆ 분자량: 약 268.89 g·mol⁻¹녹는점 : -1℃끓는점 : 144℃밀도 : 1.56g/ml증기압 : 5torr @ 25℃ 합성목록/반도체 프리커서 2025.10.30
DIPAS 화학명 : Diisopropylamino silaneCAS NO : 908831-34-5화학식 : C6H17NSi분자량 : 131.29녹는점 : 끓는점 : 116.9℃증기압 : 106torr @ 55℃밀도 : 0.76g/ml 합성목록/반도체 프리커서 2025.10.29
