합성목록/반도체 프리커서

TMA

미래화학 2025. 10. 28. 17:03

 

 

  • 화학명: Trimethylaluminum (약칭: TMA)
  • CAS 번호: 75-24-1
  • 분자식: Al(CH₃)₃
  • 분자량: 약 72.09 g · mol⁻¹
  • 녹는점 :15.4℃
  • 끓는점 : 125℃
  • 증기압 : 9Torr @ 20℃
  • 밀도 : 0.752g/ml @ 25℃

 

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