합성목록/반도체 프리커서
TEMAHf
미래화학
2025. 10. 28. 16:48
- 화학명: Tetrakis(ethylmethylamido)hafnium(IV) (TEMAHf)
- CAS: 352535-01-4
- 분자식 / 분자량: C₁₂H₃₂HfN₄, 410.90 g·mol⁻¹
- 용도: ALD/CVD용 Hf 전구체(HfO₂ 박막 형성)
- 녹는점: < −50 °C
- 끓는점: ~78–79 °C (저압)
- 밀도: 1.324 g·cm⁻³ (25 °C)
- 증기압: 0.067 mbar @ 75 °C, 0.36 mbar @ 95 °C