합성목록/반도체 프리커서
HCDS
미래화학
2025. 10. 30. 18:18
- 화학명: Hexachlorodisilane (또는 Disilicon hexachloride)
- CAS NO : 13465-77-5
- 분자식: (SiCl₃)₂ 또는 Si₂Cl₆
- 분자량: 약 268.89 g·mol⁻¹
- 녹는점 : -1℃
- 끓는점 : 144℃
- 밀도 : 1.56g/ml
- 증기압 : 5torr @ 25℃